EVG半自动解键合设备临时键合分离机EVG805DB 半自动工工艺处理

EVG半自动解键合设备临时键合分离机EVG805DB

EVG805DB是一款半自动的解键合设备，用于将已加工完成的薄器件片从硅、蓝宝石或其它材料的承载片上分离。根据临时键合中间材质的不同，可使用不同的分离方法，如热解、滑移，剥离，紫外活化等。EVG805DB还可以匹配EVG的技术模块EZD，使硅片可以在室温下解键合。

二、应用范围

EVG805DB是一款主要用于薄基片加工领域键合分离设备。广泛应用于存储器，CMOS，3D-TSV，功率器件（如IGBTs），化合物半导体（如高亮度LEDs或RF功率放大器），以及其它新型需要薄片加工的领域（如MEMS，RFID-tags，柔性显示器等）。

三、主要特点

半自动工工艺处理

菜单控制

工艺参数实时监控

不同的卡盘设计用以支持不同规格的基片（300mm）

单薄载片用以承接分离的器件基片

不同的解键合方法: 滑开，掀开，edge zone debond (EZD ), UV 辅助分离